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2023
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05
X射線探測(cè)器和X射線源為啥這么重要?
作者:
2023年2月23日,工業(yè)和信息化部等七部門發(fā)布了《智能檢測(cè)裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃(2023—2025年)》,把智能檢測(cè)裝備定義為“智能制造的核心裝備”,上升到“提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平,支撐制造強(qiáng)國(guó)、質(zhì)量強(qiáng)國(guó)和數(shù)字中國(guó)建設(shè)”的高度。從總體目標(biāo)、基本原則、具體實(shí)施領(lǐng)域、扶持政策等多個(gè)維度進(jìn)行了解釋說(shuō)明,在頂層設(shè)計(jì)的高度圈定了智能檢測(cè)裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展方向和落地措施。提出到2025年,智能檢測(cè)技術(shù)基本滿足用戶領(lǐng)域制造工藝需求,核心零部件、專用軟件和整機(jī)裝備供給能力顯著提升。發(fā)聲之疾、計(jì)劃之緊迫,無(wú)不彰顯著檢測(cè)產(chǎn)業(yè)此刻山雨欲來(lái),正處在格局重塑、密集發(fā)力的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。
明確提出攻克核心零部件/元器件:高性能X射線探測(cè)器、高功率微焦斑X射線管。這充分體現(xiàn)了國(guó)家對(duì)于掌握關(guān)鍵核心技術(shù),提升國(guó)產(chǎn)替代水平的重視,有利推動(dòng)國(guó)內(nèi)智能檢測(cè)裝備的發(fā)展,自主核心部件的突破。
X射線智能檢測(cè)設(shè)備的2大核心部件是X射線源和X射線探測(cè)器。X射線管是X射線源中技術(shù)難度最高的核心零部件,也可稱之為“核心中的核心”。
微焦斑X射線管就是焦點(diǎn)尺寸在微米級(jí)別的X射線管,其技術(shù)難度是整個(gè)X射線管領(lǐng)域的最高研發(fā)水平,目前德國(guó)Yxlon、Finetech、X-WorX,美國(guó)ThermoFisher,日本濱松光子既掌握著技術(shù)、又控制著全球市場(chǎng)供應(yīng)。
受限于國(guó)內(nèi)技術(shù)和制造水平不足,我國(guó)工業(yè)影像檢測(cè)的微焦點(diǎn)X 射線源幾乎全部依賴進(jìn)口,而用量最大的封閉式微焦點(diǎn)X射線源產(chǎn)品及核心技術(shù)主要掌握在日本濱松光子和美國(guó)Thermo Fisher兩家企業(yè)手中。隨著我國(guó)精密檢測(cè)設(shè)備需求的不斷提升,關(guān)鍵核心部件供給不足的問(wèn)題日益凸顯,特別是隨著下游集成電路、新能源電池產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,下游面臨“一源難求”的困境,嚴(yán)重影響了下游相關(guān)產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)水平。
美國(guó)政府2022年10月7日實(shí)施的新EAR法案,2023年1月30日美國(guó)又游說(shuō)日本、荷蘭官員在華盛頓達(dá)成協(xié)議,同意擴(kuò)大對(duì)華芯片出口管制措施。雖然目前美國(guó)和日本未對(duì)微焦點(diǎn)X 射線源的出口實(shí)施限制政策,但海外供應(yīng)商由于供應(yīng)緊張,一直處于無(wú)法足量、按期交付的狀態(tài)。用于半導(dǎo)體內(nèi)部缺陷檢測(cè)的X 射線智能檢測(cè)設(shè)備采用的核心部件就是微焦點(diǎn)X 射線源。如果中美摩擦繼續(xù)升級(jí),美國(guó)和日本很可能“限制”微焦點(diǎn)X射線源出口,進(jìn)而影響到中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的安全。
國(guó)產(chǎn)化迫在眉睫,這就引發(fā)了相關(guān)部門的高度重視,春節(jié)一過(guò),工業(yè)和信息化部等七部門發(fā)布了《智能檢測(cè)裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃(2023—2025年)》,把高性能X射線探測(cè)器、高功率微焦斑X射線管列為重點(diǎn)工程的第一個(gè)專欄中。
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